基于扫描电镜的电子束曝光系统（EBL），能够精确地控制电子束的扫描路径和能量沉积，从而实现高分辨率的图形曝光。该系统采用先进的电子束扫描控制技术，支持灵活多样的图案设计和精确控制，不仅具有电子束曝光功能，还保留了原SEM的观测功能，用户可以在同一台设备上完成样品的观测和加工，提高工作效率和便利性
应用场景：科研教学 微电子制造 原型器件开发 纳米材料制备 生物医疗研究
真空互联扫描电镜用于对样品车传递过来的产品进行自动检测，分析其表面晶粒形态大小分布等信息，评估其薄膜的膜质量情况。
真空互联系统可以在真空状态下对样品进行预处理，并传递到扫描电镜内进行观测。
自动检测和反馈系统，对样品标签、位置状态、样品交接进行监控和记录，可以清晰的了解样品传输状况。
